* 突破: 经过成千上万次的实验,他们终于找到了一种光刻胶和工艺组合,能够在198nm激光下,清晰地显影出0.18微米(180纳米) 的细线条!虽然线宽粗糙度(LWR)还很大,但这证明了路走通了!
当“弑神”光源、“洞察之眼”镜头和“微影之握”工艺逐渐成熟,将它们整合成一台全新的、庞杂而精密的机器,成为了最后的挑战。
在“龙脊”工业园一座新建的、抗震、恒温恒湿、洁净度达到10级(每立方英尺内粒径≥0.5μm的尘埃粒子少于10个) 的超净车间内,华盟的第一台198nm步进扫描投影光刻机——“烛龙-II型” ,完成了最后的总装和调试。
它比“烛龙-I型”庞大得多,结构也复杂得多。巨大的激光器单元被安置在角落,通过复杂的光路系统将激光引导至掩模版和镜头。精密工件台在磁悬浮导轨上高速且平稳地运动。整个系统被包裹在金属外壳内,充满了未来科技感。
首次流片(试生产)日。
硅魂推了推空气眼镜,手指微微颤抖地按下了启动按钮。激光器发出低沉的嗡鸣,光路接通,工件台开始精准移动。所有人都屏息凝神,透过观察窗看着内部那肉眼不可见的、在硅片上雕刻微观世界的宏大过程。
几个小时后,第一片晶圆完成了所有工序。它被迅速送入检测室,放在一台同样刚刚攻关完成的、更高倍的扫描电子显微镜(SEM) 下。
当图像清晰地显示在屏幕上时,整个监控室鸦雀无声,随后爆发出难以置信的欢呼!
屏幕上,清晰地排列着线宽仅为0.18微米(180纳米) 的晶体管栅极!线条清晰,边缘锐利,均匀性远超“烛龙-I”的产物!
“成功了!我们做到了!198nm!0.18微米!”硅魂激动得声音嘶哑,几乎要跳起来。
老李用力拍着硅魂的肩膀:“好小子!真有你的!这玩意比造火箭发动机还精细!”
山猫看着那微观图像,冷静地评价:“这意味我们的计算设备性能将提升一个数量级,加密、控制、通信能力将全面飞跃。”
金算盘已经开始飞速计算:“良品率!初步估计有35%!虽然还是低,但比之前的15%好太多了!成本可以大幅下降!”
消息传到“龙渊”指挥中心,马小淘长舒一口气,脸上露出了灿烂的笑容。他看向一旁的李院长。
老人脸上也露出了罕见的、深刻的欣慰笑容。他缓缓道:“攻克198nm,其战略意义,不亚于打赢一场集团军规模的战役。这是我们走向信息时代真正的基石。传令嘉奖所有参与人员。下一步,是向着更高的良品率和更低的成本进军。同时,”他目光深远,“…可以开始初步论证下一代的沉浸式光刻和更短波长的可能性了。”
“烛龙-II型”光刻机的成功,如同在华盟的科技引擎中注入了一剂最强的燃料,引发了连锁反应:
1. “龙芯-II”型处理器: 采用0.18μm制程,晶体管集成度大幅提升,主频轻松突破200MHz,计算能力呈指数级增长。
2. 军事装备升级: 新一代火控计算机、导弹制导系统、雷达信号处理机、加密通信设备全面换装“龙芯-II”,反应速度、精度和可靠性暴增。
3. 工业与科研: “龙脊”工业园的自动化控制系统、“洞察”卫星的数据处理中心、“区域战略指挥网络”的核心节点,全部受益,运行效率极大提高。
4. 技术储备: 通过这次攻关,华盟在精密光学、特种气体、精密机械、精细化工等领域积累了无比宝贵的经验和人才,为未来冲击更先进的制程(如157nm、甚至133nm)打下了坚实的基础。
华盟凭借自身的力量,成功地、独立地跨越了从微米级到亚微米级(0.18μm属于深亚微米) 的关键技术门槛,牢牢握住了信息时代的钥匙。这标志着华盟的科技发展进入了一个全新的、由芯片驱动的加速周期。
世界的格局,不仅在宏观的卫星侦察和导弹射程上被改变,更在微观的晶体管尺度上,被华盟深刻地重塑。
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