一个月。
不多不少,正好三十天。
国科大地下实验室的空气净化系统满负荷运转,试图抽走这里弥漫了整整一个月的机油味、焊锡味,还有男人们身上的汗味。
实验室正中央。
原本空旷的防震台上,此刻矗立着一只庞然大物。
它不想现代工业流水线上下来的产物。
没有那种冷冰冰的白色烤漆外壳。
也没有那些杂乱无章的线缆。
通体呈现出一种深沉的青铜色——那是特种钛合金经过阳极氧化处理后的自然色泽。
机身呈方形,底座稳如泰山。
四壁上,布满了密密麻麻的、凸起的纹路。
乍一看,像是商周青铜器上的云雷纹。
古朴,厚重,透着一股子岁月的压迫感。
但仔细看去,那些“云雷纹”其实是精密的液氮冷却管路,按照流体力学的最优解盘旋分布。
既散热,又加固。
机顶上方,是一个圆形的穹顶结构,那是EUV光源的发生舱,对应“天圆”。
机腹下方,则是那个悬浮的“浑天仪”双工件台,对应“地方”。
天圆地方,浑然一体。
这就是贺凡交出的答卷。
“咔嚓。”
贺凡手里拿着一把扭力扳手,拧紧了最后一颗螺丝。
这颗螺丝位于机身正面的铭牌旁。
他直起腰。
脊椎发出一连串爆豆般的脆响。
“活儿齐了。”
贺凡把扳手扔进工具箱。
声音在空旷的实验室里回荡。
周围站满了一圈人。
陈老、刘主任、王大锤、张德贵,还有那几个已经熬成了野人的博士生。
所有人的眼睛都死死地盯着这台机器。
没人说话。
甚至没人敢大声喘气。
就像是在产房门口等待孩子出生的父亲,既期待,又恐惧。
恐惧这一切只是个漂亮的空壳子。
“真……真造出来了?”
王大锤搓着满是老茧的手,看着那个大家伙,感觉像是在做梦。
这一个月,他们像是着了魔一样。
贺凡指哪,他们打哪。
完全没去想整体是个什么样。
现在组装起来一看。
这玩意儿……美得有点妖孽。
充满了一种暴力而神秘的中式美学。
“是不是花架子,溜溜就知道了。”
贺凡走到控制台前。
那里原本是ASML复杂的英文操作界面。
现在已经被贺凡重写了系统。
屏幕上,是一个简洁的太极八卦UI界面。
乾坤定位,阴阳流转。
“刘主任,晶圆准备好了吗?”
贺凡头也不回地问道。
“准……准备好了!”
刘主任手忙脚乱地捧过一个防静电盒。
里面装着一片12英寸的超纯硅晶圆。
这是最后一片库存了。
要是失败了,连做实验的材料都没了。
“上料。”
贺凡下令。
机械臂轻柔地夹起晶圆,送入机器腹部的吞吐口。
“嗡——”
没有任何机械摩擦的噪音。
只有一声极低沉的磁悬浮启动声。
透过观察窗。
大家清晰地看到。
那个像浑天仪一样的双工件台,瞬间捕获了晶圆。
核心球体开始旋转、定位。
速度快得拉出了残影。
但在残影中,晶圆却像是被钉在空气中一样,纹丝不动。
这是相对静止的极致。
“光源预热。”
“激发。”
随着贺凡的手指敲击键盘。
机顶的“天圆”舱内,紫光骤亮。
但这次没有外泄。
所有的EUV光束,被那四面“千锤百炼”出来的反射镜完美地锁死在光路中。
经过十几次折射、缩印。
最终轰击在晶圆表面的光刻胶上。
“滋滋滋……”
数据流在屏幕上疯狂瀑布般刷下。
曝光开始。
所有人的心都提到了嗓子眼。
陈老的手紧紧抓着椅背,指关节发白。
他在心里默念着。
稳住。
一定要稳住。
千万别炸,千万别抖。
一分钟。
两分钟。
机器运行得极其平顺。
平顺得让人感到不真实。
没有震动,没有噪音,只有指示灯在有节奏地闪烁。
就像是一个呼吸均匀的巨人。
“曝光结束。”
“退片。”
随着提示音响起。
机械臂缓缓缩回。
那片晶圆重新出现在众人视野中。
表面看起来没有什么变化,只是颜色稍微深了一些。
因为纳米级的电路图,肉眼是看不见的。
“快!”
“显影!”
刘主任几乎是扑过去抢过晶圆盒。
冲进了旁边的显影室。
一群人呼啦啦地跟了过去。
显影室里亮着昏暗的黄光。
晶圆被浸入显影液中。
时间一秒一秒地流逝。
这几十秒,比这一个月还要漫长。
陈老感觉自己的心脏都要跳停了。
小主,这个章节后面还有哦,请点击下一页继续阅读,后面更精彩!