快步走过去,想要把贺凡扶起来。
“吃什么馒头!”
“走!我带你去吃庆功宴!”
“你要吃什么都行!满汉全席我都给你弄来!”
贺凡摆了摆手,没动。
又灌了一口水。
“不去。”
“没力气动了。”
“而且……”
贺凡指了指那台机器。
“这有什么好庆功的?不过是个灯泡而已。”
“灯泡?”
陈老瞪大了眼睛。
“这是工业皇冠上的钻石!你管这叫灯泡?”
他激动地掏出手机,手指都在哆嗦。
“不行,我得给上面打电话。”
“这种好消息,必须立刻汇报!”
“让那些整天担惊受怕的领导们也睡个好觉!”
“告诉全世界,我们有自己的EUV光源了!”
陈老刚按下拨号键。
一只满是污渍的手,突然按住了他的手腕。
贺凡看着他,轻轻摇了摇头。
“挂了。”
“还没到时候。”
陈老一愣。
“为什么?”
“这已经是突破性的进展了啊!”
贺凡把剩下的馒头几口塞进嘴里,拍了拍手上的面渣。
撑着膝盖,摇摇晃晃地站了起来。
“陈老,您是搞科研的,应该比我清楚。”
“光刻机,光刻机。”
“光有了,还差个‘刻’。”
贺凡走到白板前,拿起笔。
“这束光太强了,如果不加控制,它就是一把不受控的激光剑,能把芯片烧成灰。”
“想要用它在纳米级的硅片上雕花。”
“我们还需要一只手。”
“一只稳如泰山,却又灵活如蛇的手。”
陈老的脸色凝重起来。
他当然知道贺凡说的是什么。
双工件台。
光刻机的另一个核心组件,难度甚至不亚于光源。
它需要承载着晶圆,以极高的速度运动,同时还要保持纳米级的定位精度。
那种精度,相当于两架波音飞机并排飞行,中间还要用筷子传递一根头发丝,而且不能掉。
西方是用最顶级的磁悬浮技术加上超精密的激光干涉仪来实现的。
“咱们现在的机械加工水平……”
陈老叹了口气。
“做不出来。”
“这种超精密的导轨和电机,全被禁运了。”
“就算有了光源,咱们也没东西能托得住这束光。”
这就是为什么陈老刚才只想汇报光源突破。
因为他潜意识里觉得,剩下的部分,还要几年才能慢慢磨出来。
“谁说要做导轨了?”
贺凡反问。
“不做导轨?那怎么动?”刘主任在一旁插嘴,“难道用手推?”
贺凡白了他一眼。
从怀里掏出一张折叠得整整齐齐的图纸。
那是他在炼制晶体间隙,顺手从《天工开物》里抄下来的另一份图样。
“啪。”
图纸展开,贴在白板上。
所有人都凑了过去。
原以为会看到复杂的电路图或者液压系统。
结果,入眼的是一个看起来极其古老,却又结构精巧到令人头皮发麻的球形装置。
一环套一环。
大环套小环。
中间是一个核心的圆盘。
“这……”
刘主任看着眼熟,挠了挠头。
“这不是博物馆里的那个……那个什么仪吗?”
“浑天仪。”
贺凡淡淡地说道。
“东汉张衡发明的,用来观测天象的。”
“可是……这跟光刻机有什么关系?”陈老不解。
贺凡指着图纸上的环形结构。
“西方人的工件台,是平面的,靠X轴和Y轴的直线运动来定位。”
“这种结构,越快越容易抖,惯性大,刹不住车。”
“所以他们拼命堆料,用最好的电机,最贵的传感器去修正误差。”
“那是笨办法。”
贺凡的手指在图纸上画了个圈。
“老祖宗早就告诉我们,天是圆的。”
“浑天仪的结构,其实就是一个全自由度的陀螺仪。”
“不管外面的环怎么转,核心的那个点,永远是稳的。”
“我们只要把晶圆放在这个核心点上。”
“利用磁悬浮驱动外环旋转。”
“就能实现无死角的定位,而且……”
贺凡顿了顿,眼中闪过一丝精芒。
“零震动。”
“零惯性。”
“这叫‘虚空悬浮,万象归一’。”
陈老听傻了。
他看着那张图纸,脑海中疯狂地模拟着这种结构的运动方式。
越想越觉得可怕。
这种多轴联动的稳定性,确实从原理上就秒杀了传统的平面导轨。
“可是……”
陈老咽了口唾沫。
“这玩意儿结构太复杂了,怎么造?”
“那些环环相扣的轴承,得要多高的精度?”
贺凡笑了笑。
他又拿起了那把小铜锤。
在手里转了个圈。
“陈老,您忘了我的‘千锤百炼’了?”
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